เครื่องกัดไอซีพี(ICP Etching) RIE-200iP แคตตาล็อก

รากฐานในการประกอบธุรกิจของผู้ผลิตทั่วภูมิภาคเอเชีย สําหรับประเทศไทย

TECH DIRECTORY Thailand

เครื่องกัดไอซีพี(ICP Etching) RIE-200iP

รูปภาพแคตตาล็อก

ผลิตภัณฑ์และบริการ

  • เครื่องกัดไอซีพี(ICP Etching) RIE-200iP เครื่องกัดไอซีพี(ICP Etching) RIE-200iP
    • แคตตาล็อก

    RIE-200iPเป็นเครื่องกัดไอซีพี(ICP Etching)แบบLoad lockที่มีวัตถุประสงค์เพื่อการกัดวัตถุดิบแต่ละชนิดด้วยความละเอียดสูงและได้อย่างรวดเร็ว จากการใช้วิธีสร้างพลาสมาจากการเหนี่ยวนำแม่เหล็กไฟฟ้า(Inductively Coupled Plasma)สำหรับการคายประจุ(Discharge)เครื่องกัดนี้ เลือกใช้คอยล์อิเล็กโทรด(Coil electrode)แบบขด(Tornado type)ของเราเอง ทำให้สร้างพลาสมาที่มีความเข้มข้นสูงได้อย่างเสถียรและมีประสิทธิภาพ ทั้งยังสามารถทำAnisotropic Etching ซิลิโคนหรือฟิล์มโลหะแต่ละชนิด, เซมิคอนดัคเตอร์แบบสารประกอบ(Compound semiconductor) ที่มีความแม่นยำสูงได้

ข้อมูลบริษัท

SAMCO Inc. SAMCO Inc.
  • แคตตาล็อก

ประเภท

สินค้าแนะนำ

PAGE TOP