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膜厚計

膜厚計

圧力をコントロールする為に必須の、高性能の圧力制御機器を取り揃えました。 残念ながら、全ての仕様に1つの機器で対応することはできません。

【ラインナップ】
・分光エリプソメーター
・反射式膜厚計
・レーザーエリプソメーター

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URL

http://www.ask-ibs.jp/goods/detail.php?id=409&bc=1&mc=1&sc=146

対象業界

産業用機械・装置 

企業情報

IBS Machinex(Thailand) CO.,LTD IBS Machinex(Thailand) CO.,LTD

製品・サービス特長

■特徴
【分光エリプソメーター】
押しボタン感覚で単層膜から多層膜、あらゆる材料においても測定可能。
膜層の厚みに対しては制限もなく、1nmから数百μmまで測定可能。
一回の測定で多層膜の厚みと屈折率の測定が可能。
一回の測定で数百組のPsi及びDelデータ収集及び,光学バンドギャップの測定ができる。

【反射式膜厚計】
紫外から近赤外域の反射光により多層膜の膜厚測定・光学定数解析が可能な光干渉式膜厚計です
分光法の採用により非接触・非破壊かつ高精度で再現性の高い膜厚測定ができます。
薄膜から厚膜まで幅広い測定範囲に対応しています。(10nm~数百μm)

【レーザーエリプソメーター】
薄膜の膜厚、屈折率を優れた再現性で測定
膜厚と同時に屈折率の測定;
適合測定膜厚は10nmから数百μmの単層膜の厚みを測定
半導体酸化膜、窒化膜、レジスト、ITOなどの膜厚、屈折率の測定

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

用途/使用例

【分光エリプソメーター】
半導体、シリコン太陽光、薄膜太陽光、LED、OLED、AMOLED 、液晶、タッチパネル、各種コーティングなど

【反射式膜厚計】
機能性フィルム、プラスチック、半導体、化合物半導体、表面処理、光学材料、FPDなど

【レーザーエリプソメーター】
半導体、シリコン太陽光、薄膜太陽光、LED、OLED、AMOLED、液晶、タッチパネル、各種コーティングなど

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対応可能言語

タイ語 日本語 英語 中国語

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