プラズマクリーナー PC-300

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プラズマクリーナー PC-300

プラズマクリーナー PC-300

PC-300は、プラスチックパッケージやリードフレームのドライ洗浄、有機フィルムなどの表面改質に適したバッチ式のプラズマ洗浄装置(プラズマクリーナー)です。
本装置では、RIEモード、プラズマモードから処理モードを選択できるため、基板の種類に応じた最適な処理を行うことが可能です。また、省スペースで場所を選ばす、卓上型で非常にコンパクトな設計のプラズマクリーナーです。

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URL

http://www.samco.co.jp/products/list/04_cleaner/01_plasma/pc-300.php

対象業界

光学機器・光学部品 

企業情報

サムコ株式会社 サムコ株式会社

製品・サービス特長

■処理モード(RIE、PE)を選択できるため、基板の種類に応じた最適な処理が可能
■モードはリバーシブル電極棚を反転させることで、容易に切り替え可能
■自動運転及び手動運転が可能(タッチパネル)
■100レシピ×10ステップのプロセスパラメータ-の保存が可能
■コンパクト設計

○詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードください。

用途/使用例

■BGA、CSPなどのプラスチックパッケージ、リードフレームの洗浄、表面改質
■光学部品、金型の親水化
■LEDパッケージにおけるAgの酸化防止、還元処理
■φ8インチウエハーまでのフォトレジストアッシング
■DLC膜除去による金型の再生

○詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードください。

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対応可能言語

日本語 英語 中国語 Korea

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